快速退火爐

儀器名稱：快速退火爐

儀器型号：RTP-500V

儀器産家：北京東之星應用物理研究所

主要應用：合金樣品、薄膜樣品的高溫快速退火。

性能指标：

1.    溫度範圍：150~1300 °C；

2.    升溫速率：2~200 °C/s可調；

3.    密封石英盒内尺寸：215×130×20 mm；

4.    工作溫度：在1000 °C保持時間>1 h；在1300 °C保持時間>15 s，穩定性±1 °C；在1200 °C保持時間>60 s，穩定性±1 °C。

樣品要求：

粉末、薄膜、合金或者陶瓷樣品。尺寸小于4 inch，高度小于1 cm。

注意事項：

1.    爐子使用或長時間不用後，要在120 ℃左右烘烤1 h，在300 ℃左右烘烤2 h後使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛内直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐内的清潔。

2.    冷爐使用時，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差别不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現噴料現象，污染爐管。

3.    爐子使用過一段時間後，若真空度降低，可分别更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽膠圈或重新安裝不鏽鋼法蘭盤或更換修理真空系統，以提高系統的整體真空度。

4.    爐子在工作過程中，一般在300 ℃左右若控制偏差還不能消除，出現溫度顯示值與程序給定值不符或擺動過大，檢查參數“M5、P、t”設置是否準确。

儀器說明：

RTP-500V型号的快速退火爐可以外接真空泵以及氣瓶，實現在不同氣氛條件進行退火