低溫真空探針台系統

儀器名稱：低溫真空探針台系統

儀器型号：ST-500-1-(4TX)

儀器産家：美國Janis Research

主要應用：可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析。

性能指标：

1. 分子泵組：超低振動，轉速1500 Hz。真空度：2×10^-6 mTorr。

2. 探針台：四探針測量，真空低溫測量。溫度範圍：4.2~365 K。

3. 數字源表：兩個SUM單元集成。測量精度：10~12 A，施加電壓<60 V，最小脈沖20 μs。

4. 溫度控制裝置+液氮罐：控制精度1/1000 K。

樣品要求：

晶片、薄膜。

注意事項：

1. 此探針台屬于高低溫範圍類型，在升溫至室溫以上時，一定要保持真空泵抽探針台真空腔，并且時刻注意溫控儀CH B的溫度，不要超過425 K，否則容易造成探針台内部損壞。

2. 紮針時注意不要把針紮彎。

3. 換針時，用專門的内六角扳手擰下，從新探針鈍的一端插入探針臂上小孔。

4. 探針台上的各個平移台都有一定的行程，使用過程中不要強力扳擰。

5. 探針台的光源在能看清樣品的同時盡量調至最暗，燈光越亮，燈源越容易損壞。

6. 關閉真空泵時，一定要将探針台上的真空閥關閉，并等待分子泵轉速降至0後關閉電源。

7. 實驗過程中，盡量避免去觸碰探針台及光學平移桌。

儀器說明：

1. 探針台操作步驟：将樣品放入台盤上；打開顯微鏡光源燈和背光面闆光源開關；調整Z軸高度、目鏡和放大倍率，使影像清晰。

2. 點針操作步驟：移動鏡頭組找到要下針處；調整針座位置，将三軸歸零；調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑中央上方1~2 mm處；利用低倍鏡頭找到針尖，将針尖移至視野中央位置并通過調整焦距使針尖達到清晰；切換至高倍鏡頭，找到針尖；利用針座的X-Y-Z軸微調下針;測量測完畢後，逆時針旋轉針座的仰角機構的旋鈕快速将針往上擡起,針尖即可移開樣品；移動針座平台或者顯微鏡相關移動機構時，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞；移開針座，取出樣品；關閉背光面闆光源和光源燈等電源。

3. 氣墊保護：由于低溫探針台的定子作為基礎的平台上面必須要有一層氣墊來作為保護，然後動子放在氣墊上面。

4. 儀器存放和清理維護：平台要保證在幹燥的環境中使用，進行防鏽處理并在相應位置塗覆天然石油保護層。平台應定期進行清潔維護，除去表面的灰塵。