噴金儀 噴碳儀
儀器名稱：自動離子濺射儀
儀器型号：108AUTO
儀器産家：美國泰德派勒
主要應用：108Auto是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特别适用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
性能指标：
1. 樣品室大小：直徑120 mm×120 mm高（4.75×4.75”）
2. 靶材：Pt&C，大小為直徑57mm×0.1mm厚
3. 樣品台：可裝載12個SEM樣品座，高度可調範圍為50mm.
4. 濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，最大電流40mA，程序化數字控制
5. 濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩。
6. 模拟數量：真空：Atm﹣0.001 Mbar。
7. 控制方法：自動氣體換氣和洩氣功能，自動處理排序，帶有暫停控制的數字定時器（0~300s），自動放氣。
8. 桌上系統：真空泵可置于抗震台上，全金屬集成耦合系統
樣品要求：
不導電的幹燥樣品，無磁性。
儀器說明：
美TED PELLA 108AUTO 自動離子濺射儀，是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特别适用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
儀器名稱：小型離子濺射儀
儀器型号：JS-1600
儀器産家：北京和同創業/中國
主要應用：主要适用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導電膜(金膜)，儀器操作簡單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
性能指标：
1. 電源：110/220 V，50 Hz
2. 靶（上部電極）：金，銀等。直徑為50 mm，厚度大約為0.12 mm
3. 真空室：直徑160 mm，高120 mm
4. 樣品台（下部電極）：圓形，直徑為50 mm
5. 離子電流表：最大電流50 mA
6. 定時器：最長時間900 s、最高電壓1600 V；機械泵2 L/s
7. 外形尺寸：不大于360×300×380 mm。
樣品要求：
絕緣體材料。
儀器說明：
離子濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理設計而成的，适用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實驗電極制作。